我只想拿毕业证，你让我造1纳米光刻机？ 第11章 测试(第1页/共2页)


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    江南大学，机械工程系主任办公室。

    “江澈同学，我是国安部顾菁，你提交给龙国科院的资料，引起了高度重视，

    基于程序，我们需要对你的身份和能力进行最终确认。”

    顾菁目光扫过江澈，声音清冷，没有一丝情绪波动。

    “可以。”

    江澈听到这话，有些紧张，但想起自己觉醒的逆天悟性系统，微微加速的心跳逐渐平缓。

    顾菁的目光重新落回屏幕，手指轻点，

    设备投射出一道全息光幕，悬浮在桌面上方，

    光幕上显示的赫然是江澈无比熟悉的图纸——《光学系统-极紫外反射镜组校准参数》中的一页，

    上面布满了复杂的公式、参数表格和一张非球面反射镜的剖面图，

    标注着密密麻麻的尺寸公差和材料特性。

    “这份图纸是你声称用课余时间完成的1纳米UV光刻机资料的一部分，

    我们对其进行了一些技术性验证前的预处理。”

    顾菁指了指光幕，目光转向江澈，发现他脸上没有一丝紧张的情绪，微微颔首。

    一旁的赵建生看着屏幕上的图纸，眉头微皱，他发现顾菁对其中一个关键参数进行了微调，

    那是关于反射镜基底材料在极端紫外辐照下的热膨胀系数补偿值，

    她将原本精确到小数点后五位的补偿因子“β= 8.32745e-6 /K”改为了“β= 8.32755e-6 /K”。

    将“4”改成了“5”，这个改动极其微小，

    数值差异仅存在于小数点后第4位，在庞杂的参数海洋里，就像一滴水滴进大海，

    如果不是对整个系统精度要求有着刻骨铭心的了解，

    或者图纸本身就是自己一笔一画绘制，每一个数字都印在脑海，根本看不出问题。

    赵建生心头一震，他作为专家，自然能看出差别，

    但他更清楚这个微小改动在后续系统集成和热变形补偿算法中可能产生的连锁反应，

    最终大概率会导致成像精度在极端工况下下出现数据偏移，造成的后果不可估量。

    “请江同学看一下这份图纸，告诉我，这份图纸是否完全还原了你最初的设计？

    有没有任何你觉得不合理，或者需要修正的地方？”

    顾菁的目光牢牢锁住江澈的脸，不放过他任何一丝细微的表情变化。

    房间内一片死寂，两位军官像雕塑一样站在原地，赵建生也攥紧了拳头，观察江澈的反应。

    江澈的目光投向光幕，他先是快速扫视了一遍整体框架，

    然后目光精准的放在了图纸上热膨胀系数补偿值区域，

    只一眼，他的眉头就微微蹙起，在逆天悟性系统的加持下，他对图纸上的任何错误都有一种本能的排斥。

    江澈没有说话，身体微微前倾，眼神在那些细微的数字和符号间反复观察，

    10秒钟后，他伸出手指，毫不犹豫地点向那个被修改的数值：

    “这里，β值错了。”

    “哦？你觉得β值错了？请具体说明错在哪？”

    顾菁的眼波微动了一瞬，下一秒就恢复正常，快得让人以为是错觉。

    “小数点后第4位，应该是4，不是5，原图纸数据是8.32745e-6 /K而非8.32755e-6 /K。”

    江澈的声音带着一种毋庸置疑的自信。

    赵建生深吸一口气，心脏狂跳，

    这小子真的看出来了，而且精准定位到了小数点后面的数据！

    “这类量级的偏差在工程层面本就可近乎忽略不计，

    你如何确定这并非源于你的原始设计本身，或是仅为我们显示设备的精度误差所致？”

    顾菁的表情没有任何变化，但眼神深处闪过一抹不易察觉的波动。

    “在1纳米光刻的世界里，没有什么是可以忽略不计的，

    热膨胀系数补偿因子β直接关联到反射镜在深紫外高能激光持续轰击下的微观形变，

    偏差0.00001e-6 /K，意味着在持续曝光情况下，

    特定区域的热变形量会超出我设计的补偿算法所能覆盖的极限阈值约0.8纳米，

    累积到光学系统的波前误差上，最终会导致线宽粗糙度（LWR）增加超过15%，良品率暴跌，

    这叫可以忽略不计？由此可见，您也不是什么专业人士。”

    江澈嘴角微微勾起一个弧度，声音虽然有些疲惫，但自信的语气丝毫不减。

    “？”

    被江澈嘲讽的顾菁脸色微变，指尖不自觉的攥紧西装下摆。

    但江澈丝毫没有顾及她的脸面，开始持续输出专业知识，

    “这个β值是我通过大量材料特性模拟和极端工况边界条件推演，

    结合特定冷却流道设计的散
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