10分钟前,龙国科学院,光刻机项目研发组。
赵建生看着主屏幕上不断闪烁的红点,眉头紧锁成一个“川”字,攥着香烟的手指微微颤抖。
“老赵,补偿模型的数据还是对不上,我们模拟了无数次,热膨胀系数和实际形变存在无法解释的偏差。”
项目组的光学专家李垣指着屏幕上弯曲的曲线图,声音带着疲惫,
“阿斯麦的技术壁垒太厚,我们逆向推断的路径可能从根本上就是错的,
耐高温超精密陶瓷的稳定性始终达不到要求!”
“别说28纳米稳定量产,现在连原型机达到设计指标都困难重重。”
负责机械结构的王宇鑫用力揉着太阳穴,语气带着一抹淡淡的惆怅。
“荷兰人卡着3纳米光刻机的脖子,我们连他们的车尾灯都看不清,
上面给的压力越来越大,这每年的研发经费....唉!”
他话没说完,但沉重的叹息道尽了一切。
赵建生手指无意识地敲击着桌面,作为项目组负责人,他比任何人都清楚现实的残酷,
芯片突破28纳米,是他们当前拼尽全力也难以逾越的鸿沟,更是龙国芯片产业心底最深的痛点,
他张了张嘴,想再说几句话,哪怕只是些苍白又无力的鼓励。
“叮铃铃——!”
桌上那部红色的加密内线电话骤然响起,瞬间打破了会议室凝滞的空气。
所有人下意识地屏住呼吸,目光齐刷刷投向赵建生,
这么多年,加密内线电话响起的次数屈指可数,一般是院内最高层紧急指令或绝密信息。
“我是赵建生。”
赵建生心头一紧,迅速抓起听筒,
“老赵,立刻!马上!带你们光刻机项目组最核心的专家,
全部到保密会议室,立刻放下手上所有工作,最高优先级,对,就是现在!出大事了!”
“老孙?出什么事了?你冷静点,慢慢说!”
赵建生被这前所未有的急迫语气惊得站了起来。
“别问!来了就知道!记住,最高级别保密!”
孙柯的声音不容置疑,甚至带着一丝颤抖。
“嘟!嘟!嘟!”
电话被仓促挂断,只剩下忙音在寂静的会议室里回荡。
赵建生握着听筒,脸上闪过一抹惊讶,孙柯一向沉稳,什么事能让他慌乱至此?
还点名要整个核心团队,还是最高保密级别?而且是在他们正为28纳米焦头烂额的时刻?
......
“全体成员,放下手里一切,去一楼保密室!”
赵建生几乎没有思考,几乎是吼出孙柯的原话,随后一马当先冲出会议室。
一种无形的压力瞬间笼罩了整个项目组核心成员,
没有人问为什么,长期的科研素养和对保密纪律的绝对服从让他们立刻起身,
沉默地跟在赵建生身后,走廊里只剩下匆匆的脚步声和压抑的喘息,
沿途遇到的其他研究员投来诧异的目光,但无人敢上前询问。
保密室内部,孙柯已经等在那里,旁边站着脸色依旧有些发白的张禹,
巨大的主屏幕上,正投射着那个灰色复杂的文件夹,
赵建生等人鱼贯而入,厚重的门在身后无声地闭合,隔绝了外界的一切声响。
“老孙,到底发生什么事了?”
赵建生刚开口,下一秒目光就被屏幕上的文件牢牢吸住,
密密麻麻的文件夹名称如同一个个惊雷,在他脑海中炸响:
《整机总体设计与系统集成》、《深紫外光源系统(DUV)》、《高精度双工件台控制系统》、《环境控制与减震模块》...
每一个文件夹的名字,都精准地指向光刻机最核心,也是他们最头疼的领域。
“看这个。”
孙柯没有废话,声音沙哑,直接操控鼠标点开了《光学系统-极紫外反射镜组校准参数》,
屏幕上瞬间被复杂的图表、公式、三维模型和标注着密密麻麻参数的图纸填满。
“嘶——!”
“这是?!”
“开什么玩笑?”
一阵压抑不住的倒吸凉气声在死寂的会议室响起,光学专家李垣第一个扑到了屏幕前,
眼睛睁的老大,几乎要把脸贴上屏幕,
他死死盯着其中一张关于非球面镜Zernike像差系数校正方案的放大图和旁边附带的微应力加载补偿算法描述。
“这...这个补偿模型,我们推演了无数次,始终无法解决的动态形变误差,
这里竟然给出了完整的实现路径?!
还有这些系数...怎么可能计算得这么精确?阿斯麦的核心论文也只停留在理论层面!”
他猛地转头看向孙柯,又看
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